Große Abluftvolumina mit geringer Schadstoffkonzentration

Beispiel: Elektronikindustrie
Verwandte Aufgabenstellungen: Manuelle Lackier-anlagen, Brillenbeschichtung, Doseninnenbe-schichtung

In der Elektronikindustrie werden Halbleiter benötigt, die bei der Produktion gering belastete, jedoch große Abgasströme verursachen. Diese werden über rotierende Adsorber (Rotoren) gereinigt. Die kontinuierliche Regeneration der Adsorber liefert hoch belastete, aber deutlich kleinere Abluftvolumina, die in einer regenerativen thermischen Oxidationsanlage (RTO) gereinigt werden. Der dabei entstehende Überschuss an Schadstoff-Verbrennungswärme wird zur Vorwärmung der Desorptionsluft genutzt. Die Rotoren sind mit einer speziell entwickelten Desorptionsluftrezirkulation ausgerüstet, die einen wesentlich höheren Konzentrationsfaktor erlaubt und somit die Betriebskosten minimiert.

Fazit: Der durch die CTP-Rezirkulation besonders hohe Konzentrationsfaktor reduziert die Investitions-kosten und erlaubt einen autothermen Betrieb (Zusatzbrenner abgeschaltet) auch bei kleiner Schadstoffkonzentration.

Große Abluftvolumina mit geringer Schadstoffkonzentration